光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜和化学镀膜。光学镀膜用于增强光学组件的透射、反射或偏振特性。例如,每个未镀膜玻璃器件表面将会有大约10%的入射光被反射。采用增透膜可将各表面的反射率降低到 0.1% 以下,采用高反射介电膜可将反射率提高到 99.99% 以上。
光学镀膜材料的分类及应用有很多,例如:金属膜、氧化物膜、氟化物膜、硅膜、氮化硅膜、碳化硅膜、氮化铝膜、氧化锆膜、氧化铝膜、氧化镁膜、氧化钛膜、氧化铌膜、氧化钨膜、氧化钼膜、氧化铁膜、氧化铬膜、氧化铜膜、氧化锌膜、氧化硅锌膜、氧化银膜、氧化钯膜、氧化铂膜、氧化钯铂膜、氧化铜银膜、氧化铜铝膜、氧化铜银铝膜、氧化铜银金膜、氧化铜银铂膜、氧化铜银钯膜、氧化铜银钯铂膜、氧化铜银钯铂金膜等。
光学镀膜的制作过程一般包括以下几个步骤:
1.基片清洗:将基片放入超声波清洗器中清洗,去除表面的油污和杂质。
2.基片处理:将基片放入真空室中进行处理,如加热、氧化等。
3.镀膜:将镀膜材料放入真空室中,通过电子束蒸发、离子镀等方法将材料镀在基片表面。
4.后处理:将镀好的膜进行后处理,如退火、氧化等。
5.检测:对镀好的膜进行检测,如反射率、透过率、耐磨性等。
光学镀膜的应用场景有很多,例如:
1.光学仪器:光学镀膜可以用于制造光学仪器,如望远镜、显微镜、光学仪表等。
2.光学通讯:光学镀膜可以用于制造光学通讯器件,如光纤、光纤放大器、光纤滤波器等。
3.光学显示:光学镀膜可以用于制造光学显示器件,如液晶显示器、有机发光二极管(OLED)等。
4.光学储存:光学镀膜可以用于制造光学储存器件,如光盘、DVD、蓝光光盘等。
5.光学加工:光学镀膜可以用于光学加工,如激光切割、激光打标、激光焊接等。
6.光学传感:光学镀膜可以用于制造光学传感器件,如光电传感器、光学测量仪等。